電子制造業(yè)包括電子設(shè)備(計(jì)算機(jī)、電視、通訊設(shè)備、電子控制、電子儀器等)、電子元件(電阻、電容、電感器、印刷線路板等)、電氣器件(接插元件、電子管、晶體管、集成電路等)以及其原材料(高頻磁性材料、高頻絕緣材料、半導(dǎo)體材料等)的工業(yè)生產(chǎn)企業(yè)。

以上這些電子行業(yè)的生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境潔凈度有不同程度的要求，從潔凈度100級(jí)、1000級(jí)到萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)的電子無(wú)塵車(chē)間都有廣泛的應(yīng)用，主要控制粒徑0.1-0.5UM的塵埃及細(xì)jun污染物，例如線路板PCB生產(chǎn)的照相、制版、SMT、干膜車(chē)間，芯片生產(chǎn)的蝕刻、離子注入、CMP車(chē)間;封裝企業(yè)的劃片、鍵合車(chē)間;電子儀器微電子的裝配車(chē)間;半導(dǎo)體材料生產(chǎn)的拉單晶、清洗、外延車(chē)間;液晶顯示器生產(chǎn)的陳列板、成盒、STN-LCD車(chē)間;鋰電子生產(chǎn)的干工藝車(chē)間;電容電阻生產(chǎn)的絲印、流延車(chē)間;光導(dǎo)纖維的拉絲、光盤(pán)制造車(chē)間等等。

一、什么是電子制造業(yè)的無(wú)塵車(chē)間?

這類(lèi)用于生產(chǎn)精密電子產(chǎn)品的無(wú)塵車(chē)間，共同之處是將一定空間范圍內(nèi)的空氣塵埃粒子、有害空氣、細(xì)jun等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一特定需求范圍內(nèi)，而專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)建造的生產(chǎn)車(chē)間。即是具有無(wú)論外在空氣條件如何變化，其室內(nèi)環(huán)境均能具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能特點(diǎn)。

根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域和產(chǎn)品的不同，無(wú)塵車(chē)間也有設(shè)計(jì)方案上的區(qū)別，因此，電子制造業(yè)的無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)，也是一項(xiàng)綜合的通風(fēng)凈化技術(shù)。只有充分了解電子制造業(yè)的各車(chē)間功能、生產(chǎn)工藝特點(diǎn)等，經(jīng)合理優(yōu)化的設(shè)計(jì)，才能創(chuàng)造出符合行業(yè)發(fā)展要求的無(wú)塵潔凈環(huán)境，使得電子制造業(yè)的生產(chǎn)效率大大提高。

二、電子制造業(yè)無(wú)塵車(chē)間有什么技術(shù)特點(diǎn)?

電子無(wú)塵車(chē)間涵括了多個(gè)等級(jí)潔凈室的應(yīng)用，其中千級(jí)(粒徑≥0.5UM塵粒，不大于35000顆/立方米)和萬(wàn)級(jí)(粒徑≥0.5UM塵粒，不大于350000顆/立方米)無(wú)塵潔凈車(chē)間在各個(gè)工藝環(huán)節(jié)使用占比較多。車(chē)間環(huán)境參數(shù)中的塵埃粒子數(shù)、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)、新風(fēng)量嚴(yán)格按照潔凈規(guī)范控制, 照明、潔凈室截面風(fēng)速可按用戶實(shí)際需求或潔凈規(guī)范受控。另外，電子廠房對(duì)靜電防護(hù)要求其嚴(yán)格，因此對(duì)無(wú)塵車(chē)間的濕度控制指標(biāo)尤甚，過(guò)于干燥車(chē)間內(nèi)部易產(chǎn)生靜電，存在電子元件的損壞風(fēng)險(xiǎn)，而濕度不穩(wěn)定的環(huán)境也會(huì)縮短電子產(chǎn)品的車(chē)間壽命。一般來(lái)說(shuō)，電子無(wú)塵車(chē)間的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間，可有效地消除靜電，并使車(chē)間人員活動(dòng)感覺(jué)舒適。

三、概括來(lái)說(shuō)，電子無(wú)塵車(chē)間有以下技術(shù)指標(biāo)：

1. 塵埃粒子數(shù)控制范圍：

潔凈度 塵粒至大允許數(shù)/立方米

*：靜態(tài)→≥0.5μm→3520；靜態(tài)→≥5.0μm→20

B級(jí)：靜態(tài)→≥0.5μm→3520；靜態(tài)→≥5.0μm→29

C級(jí)：靜態(tài)→≥0.5μm→352000；靜態(tài)→≥5.0μm→2900

D級(jí)：靜態(tài)→≥0.5μm→3520000；靜態(tài)→≥5.0μm→29000

態(tài)懸浮粒子檢測(cè)儀器：塵埃粒子計(jì)數(shù)器

2、車(chē)間內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài))：不應(yīng)大于65dB(A)。

噪聲檢測(cè)儀器：噪聲儀/聲級(jí)計(jì)

3、車(chē)間垂直流滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流不應(yīng)小于40%。

4、無(wú)塵車(chē)間內(nèi)與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

壓差檢測(cè)儀器：壓差儀

5、車(chē)間室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的至大值：

(1)補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

(2)保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40立方米。

7、車(chē)間的送風(fēng)量應(yīng)取下面三項(xiàng)至大值：保證電子無(wú)塵車(chē)間空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量;根據(jù)熱，濕負(fù)荷計(jì)算確定電子無(wú)塵車(chē)間的送風(fēng)量;向無(wú)塵車(chē)間內(nèi)供給的新鮮空氣量。